سیستم های میکروالکترومکانیکی (MEMS)

 مطالب مربوط به درس MEMS

*****************************************************************

لینک دریافت اسلایدها

اسلاید های درس

فایل 1- مقدمه، فرآیندهای ساخت (آپدیت شد: 1399)

http://s11.picofile.com/file/8393622276/1.pdf.html

فایل 2- پروسه ساخت، مواد مورد استفاده، بسته بندی

http://s1.picofile.com/file/8288385100/2.pdf.html

فایل 3- سنسورها و عملگرهای الکترواستاتیک 

http://s8.picofile.com/file/8292032050/3.pdf.html

فایل 4- سنسورها و عملگرهای پیزومقاومتی

http://s9.picofile.com/file/8292032300/4.pdf.html

فایل 5- سنسورها و عملگرهای پیزوالکتریک

http://s9.picofile.com/file/8296240492/5.pdf.html

فایل 6- میکروفون و رزوناتورها (جدید: 1398)

http://s3.picofile.com/file/8363637350/Acoustic_sensors.pdf.html

******************************************************

کتاب را از لینک زیر دانلود نمایید:

http://s7.picofile.com/file/8237301442/Foundations_of_MEMS_2nd_Edition_Liu_Chan.pdf.html

***************************************************************************

جهت اعتراض میتوانید با ایمیل زیر تقاضای خود را مطرح نمایید

[e-mail] 

جهت دانلود نرم افزار Comsol می توانید به سایت soft98.ir مراجعه کنید.