اسلایدهای کارگاه آموزشی سیستم های میکروالکترومکانیکی MEMS از لینک های زیر قابل دانلود هست:
http://s5.picofile.com/file/8125294392/1_Overview_and_MEMS_Actuators.pdf.html
http://s5.picofile.com/file/8125296342/2_MEMS_Sensors.pdf.html
http://s5.picofile.com/file/8125299318/3_Optical_MEMS.pdf.html
http://s5.picofile.com/file/8125304426/4_RF_MEMS.pdf.html
http://s5.picofile.com/file/8125343618/5_MEMS_Accelerometer.pdf.html
جهت آشنایی با کلیت MEMS ادامه مطلب را بخوانید.